TOF-MS検査装置

TOF-MS(Time of Flight Spectrometry,飛行時間型質量分析法）は、試料分子をイオン化し、加速電圧によってフライトチューブ内を飛行させ、イオンが検出器に到達するまでの時間(飛行時間)から質量を算出する分析方法です。

イオンの質量電荷比(m/z)が小さいほど高速で飛行し到達時間が短くなるため、同位体などの質量の違いを正確に測定できます。

▲Vocus B(CI-TOFMS)

▲PA-G1003(EI-TOFMS)

質量分析で用いられるソフトイオン化法の一つで、リージェントイオンを気相中の試料分子と反応させてイオン化する方法。
フラグメント等影響がないため、検出結果において成分検出に有利です。

　　特　長　　

AMCクラスの包括的なモニタリングが可能で、半導体FAB内環境管理を改善し、問題あるプロセスや汚染物質の特定ができます。

　使用用途例　

・プロセスおよびツールレベルのAMC制御
・エアケミカルコンディション
・FOUPの内のモニタリング、素材の研究開発
・リーク検出、排気監視
・新クリーンルームAMCのベースラインとQC

熱フィラメントで生成した電子によって試料分子をイオン化する方法。
主として、製造装置内のプロセス可視化・監視に利用します。

　　特　長　　

製造装置内のプロセスをリアルタイムで可視化することが可能です。

　使用用途例　

・プロセスチャンバー洗浄後の監視
・不良因子リアルタイム検知
・プロセスガス流量オンデマンド精密制御

・QMSが各測定で単一の質量電荷比のイオンだけをカウントするのとは対照的に、
   TOFは各測定ですべてのm/zのイオン数をカウントするのが可能です。

・TOF-MSの超高速・高感度かつ圧倒的な情報量により、緻密なプロセスガスモニタリングを行うことが可能となります。

超高速・超感度、リアルタイムAMCモニター

レーザーアブレーションとシングルパーティクル分析のための高速・全元素検出器

ラボやフィールドにおけるガスクロマトグラフ（GC）およびGCxGC研究用の高速・高感度検出器

FIBSEMに追加し、2次イオンイメージングと深さ方向プロファイリング

山善TFS支社は、半導体業界向け製品も取り扱っております。

装置単体ではなく装置間の自動搬送やハンドリングの自動化をご提案。

お客様工場の自動化で、人手不足解消や生産性向上をお手伝いします。