SEMレベルまで観察可能！
一般的に、全体を素早く観察したい時に顕微鏡が使用され、電子顕微鏡(SEM)は微細な表面構造を高分解能で観察したい時に使用されます。
サイズだけでなく、必要な情報(色・全体像なのかナノレベルの形状なのか等)によって使い分けられています。
顕微鏡を用いる観察において、こんなご要望はありませんか？
■SEMの順番待ちに時間がかかるため、可能な限り顕微鏡で観察したい
■SEMの事前準備に工数がかかるため
できるだけ顕微鏡で簡易的に観察したい
■SEMで観察すると変質する材料があるので
できるだけSEMを使用することなく顕微鏡で観察したい
■電子顕微鏡で見るのが大変な
特殊なサンプル（液中の微粒子など）を観察したい
このようなご要望にお応えするのが
サブミクロン光学顕微鏡ORES-6000です！
サブミクロン光学顕微鏡ORES-6000とは
ORES-6000は、高倍率・高解像度・高視野角で電子顕微鏡の領域を代替できるサブミクロン光学顕微鏡です。
①サブミクロンの微細観察したいとき
②電子顕微鏡の一部を代替したいとき
③電子顕微鏡で見るのが大変な特殊なサンプル（液中の微粒子など）を観察したいとき
そんなシーンでご活用いただけます。
サブミクロン光学顕微鏡ORES-6000の特長
特長 | 1 | 0.3µmまで識別可能 |
通常の光学顕微鏡だと観察できるサイズが最小で3µm程度ですが、
ORES-6000なら光学顕微鏡ながら0.3µmまで観察することが可能です。
特長 | 2 | 長いワークディスタンス |
ORES-6000は、ワークディスタンスを10mm以上確保できます。※対物レンズ100x使用時
そのため、凹凸のあるワークでも観察が可能です。
特長 | 3 | 高倍率・高解像度・高視野角 |
ORES-6000は、明視野・暗視野を選択することが可能です。一般的な光学顕微鏡と比較して視野角が広く、高倍率でも明るい画像で観察できます。
オプションとして、接眼ユニットや偏光フィルタを選択が可能。
総合倍率は15,000倍です。※総合倍率はお客様の使用するモニターに依存します
特長 | 4 | 測長機能・深度合成機能 |
測長機能や深度合成機能も搭載することが可能です。 ※深度合成機能はオプション
測長機能
測長機能を使えば、モニター上の観察画面でワークの基準位置をクリックすることで、簡単にピッチやピット幅など指定した長さを測ることができます。
深度合成機能 ※オプション
深度合成機能は、複数の画像から焦点が合っている箇所を合成し、一つのきれいな画像を作成することが可能です。
性能確認・操作感の検証は山善のラボで承ります！
大阪にデモ機を設置しているため、実機で操作感や見え方を確認しながら検討を進めることができます。
山善のエンジニアが確かなサポート体制とあわせてスムーズな評価をサポートします。
観察事例
半導体系
微細配線
現物
![](https://ferret-one.akamaized.net/resized_images/6a7048ca4572c301dba5e7c5/original.{"image_content_type"=>"png"}?utime=1785743562)
デジタルマイクロスコープ（最高倍率）
![](https://ferret-one.akamaized.net/resized_images/6a7047e733d23701c6eef5a2/original.{"image_content_type"=>"png"}?utime=1785743335)
光学顕微鏡
![](https://ferret-one.akamaized.net/resized_images/6a7047fd451c8401b80adf00/original.{"image_content_type"=>"png"}?utime=1785743357)
材料概要 | 配線パターンL/S=2/2um |
|---|---|
観察目的 | デジタルマイクロスコープは最高倍率でも上記解像度でぼやけている。通常SEMで観察。 |
写真データ | 対物レンズ： ×20 |
依頼者感想 | デジタルマイクロスコープよりも高精度に見える |
金属多層膜
現物
![](https://ferret-one.akamaized.net/resized_images/6a705b33aa53db04ed06357c/original.{"image_content_type"=>"png"}?utime=1785748275)
デジタルマイクロスコープ
![](https://ferret-one.akamaized.net/resized_images/6a705ac1aa53db04d9063c2e/original.{"image_content_type"=>"png"}?utime=1785748161)
光学顕微鏡
![](https://ferret-one.akamaized.net/resized_images/6a705b0b4572c30572a59f42/original.{"image_content_type"=>"png"}?utime=1785748235)
材料概要 | 金属多層膜(電子部品) |
|---|---|
観察目的 | x30kのSEMレベルには及ばないだろうとは考えている。顕微鏡でどこまで見えるか性能を確認したい。 |
写真データ | 対物レンズ： ×100(HR) |
依頼者感想 | SEMレベルではないが、顕微鏡でここまで見えるのは驚き |
透明膜付きウエハ
光学顕微鏡
材料概要 | 基板に2層の透明膜がついている |
|---|---|
観察目的 | 2層の透明膜のズレ量を測定したい。 |
写真データ | 対物レンズ： ×100(HR) |
依頼者感想 | FIB断面でしかみれなかった透明膜が光学顕微鏡で確認できた。 |
セラミック系
セラミック
現物
材料概要 | 配線パターンL/S=2/2um |
|---|---|
観察目的 | デジタルマイクロスコープは最高倍率でも上記解像度でぼやけている。通常SEMで観察。 |
写真データ | 対物レンズ： ×20 |
依頼者感想 | デジタルマイクロスコープよりも高精度に見える |
メッキ系
Au 貴金属メッキ面
光学顕微鏡
材料概要 | 金 貴金属メッキ |
|---|---|
観察目的 | 領域AとBのめっきの質感の違いが顕微鏡で捉えられるか確認したい。領域Bは凹凸があり、TEMで見ると0.1μmレベルの凹凸がある。領域Aがあっても素子としては問題ないが、検査では異常としてNG扱い。 |
写真データ | 対物レンズ： ×10 |
依頼者感想 | 顕微鏡でこの質感の違いは確認できた。新たにOK/NGの閾値を設定できる可能性あり。 |
Cu 金属めっき
光学顕微鏡
材料概要 | 銅 金属メッキ |
|---|---|
観察目的 | 質感の違いが顕微鏡で捉えられるか確認したい。 |
写真データ | 対物レンズ： ×10 |
依頼者感想 | 顕微鏡でこの質感の違いは確認できた。 |
薬液系
スラリー洗浄液
洗浄力強い
![](https://ferret-one.akamaized.net/resized_images/6a7056c2451c8404650ae047/original.{"image_content_type"=>"png"}?utime=1785747138)
洗浄力マイルド
![](https://ferret-one.akamaized.net/resized_images/6a7056b246ca530467709fd2/original.{"image_content_type"=>"png"}?utime=1785747122)
洗浄力中間
材料概要 | スラリー ： セラミック粒子＋樹脂 (粒子5μm～0.5μm) |
|---|---|
観察目的 | セラミック屋にとって薬液の選定は大変重要。 |
写真データ | 対物レンズ： ×50 |
依頼者感想 | これまでの認識は強い薬液は薬液の中に粒子が分散していると考えていた。 |
仕様
詳しい仕様に関しては、下記フォームよりお問い合わせください。
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装置単体ではなく装置間の自動搬送やハンドリングの自動化をご提案。
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