ウェハボックス搬送を
自動化するロボット
YouibotのOWシリーズ

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Youibotとはウェハボックス搬送ロボットとは

半導体の元となるウェハは、塵や埃(パーティクル)の量が一定以下とする「クリーンルーム」で作られています。
例えば「クラス100」というレベルのクリーンルームでは「0.5μmの微粒子が1立方フィートの中に100個以下」となるように、次のような施策を実施しています。

  • 作業者の白衣装着
  • クリーンルーム入室時のエアシャワー
  • 室内の空気循環による微粒子の排出
  • パーティクルを発生させやすい物の持ち込み制限

このような環境でウェハボックスを搬送するロボットには、基本的な運搬機能に加えてパーティクルを一定以上に増加させない「クリーン度」が必要です。
ウェハボックス搬送ロボットは両者の特性を兼ね備えています。

ウェハボックス搬送ロボットとは

Youibotの製品紹介Youibotのウェハボックス搬送ロボットの紹介

Youibotのウェハボックス搬送ロボットの紹介

Youibotはウェハボックス搬送専用に考えられた搬送ロボットで、8インチウェハ用(OW8)と12インチウェハ用(OW12)があります。クラス100のクリーンルームに対応しており、レーザーSLAMによりクリーンルーム内での自律走行も可能です。
また、トップレベルのバッテリー管理システムによる自動充電に対応しているだけでなく、急速バッテリー交換にも対応しています。そのため、電池残量不足による作業ロスを極力抑えられ、7✕24Hの連続稼働が可能です。

積載量はトップレベルを誇り、分散型知能スケジューリングを用いた複数台同時稼働が可能です。そのため、統率の取れた効率の良いウェハボックス搬送を行います。
人との接触を検知すると即時停止、また、複数の緊急停止ボタンも備えているためクリーンルームでの作業者との接触・干渉も防げます。

Wi-Fi(2.4G・5G)、およびIEEEなどの通信規格に対応しており、特別な通信環境は必要ありません。

低障害物検出

クリーンルーム内の搬送路では装置の一部が張り出していたり、部材が仮置きされていたり、搬送路上に人が立っていたりします。

Yuibotはレーダーを用いた3Dビジョン検出センサを利用して、障害物を検知するとその場で停止します。

PLCに停止信号を送るため、瞬間的な停止が可能です。

立体面障害物回避

低障害物検出は足元の障害物検出に特化しています。

一方、立体面障害物回避は前方270°およびボディ程度の高さまでの障害物に対して減速、あるいは停止するための機能です。

また、走行状態が変わると自動的に障害物回避エリアを切り替えます。

床穴検出

搬送路の床に穴がある場合、Youibot自身が転落しないように穴を検知して停止する機能があります。

低障害物検出と同様に、PLCに対してダイレクトに停止信号を送るため、タイムラグなく瞬時の停止が可能です。

なお、検出できる穴の最低サイズは600mm✕600mmです。

Youibotの製品紹介8インチウエハボックス搬送ロボット「OW8」

8インチウエハボックス搬送ロボット「OW8」
カテゴリー 項目 パラメータ
基本 寸法 1085*780*1163 mm
本体重量 360KG(電池含む)
クリンクラス Class100
協働ロボット負荷 ≤6KG
協働ロボットアーム長 1300mm
ビジョン二次精度 ±0.5mm
ナビゲーション ナビゲーション方式 レーザSLAMナビゲーション
位置決め精度 ±10mm/±1°
性能 走行方向 前進、後退
最大速度 空載1.5m/s;満載1m/s
定格速度 空載1m/s;満載0.8m/s
垂直障害物越え能力 高10mm
溝越え能力 幅30mm
バッテリー バッテリー容量 60Ah
連続稼働時間 ≤8H
充電時間 ≤1.5H
充電方式 自動充電/手動充電
安全防護策 レーザーレーダー ロボット前後対角に2つ;ロボット左右に2つ
緊急停止ボタン 底部両側に2つ、上部に2つ
安全バンパー 360°カバー
ネットワーク 無線通信 WIFI 2.4G&5G
IEEE 802.11a/b/g/n

Youibotの製品紹介12インチウエハボックス搬送ロボット「OW12」

12インチウエハボックス搬送ロボット「OW12」
カテゴリー 項目 パラメータ
基本 寸法 1085*775*1245 mm
本体重量 360KG(電池含む)
クリンクラス Class100
協働ロボット負荷 ≤10KG
協働ロボットアーム長 ≥1100mm
ビジョン二次精度 ±0.5mm
ナビゲーション ナビゲーション方式 レーザSLAMナビゲーション
位置決め精度 ±10mm/±1°
性能 走行方向 前進、後退
最大速度 空載1.5m/s;満載1m/s
定格速度 空載1m/s;満載0.8m/s
垂直障害物越え能力 高10mm
溝越え能力 幅30mm
バッテリー バッテリー容量 60Ah
連続稼働時間 ≤8H
充電時間 ≤1.5H
充電方式 自動充電/手動充電
安全防護策 レーザーレーダー ロボット前後対角に2つ;ロボット左右に2つ
緊急停止ボタン 底部両側に2つ、上部に2つ
安全バンパー 360°カバー
ネットワーク 無線通信 WIFI 2.4G&5G
IEEE 802.11a/b/g/n

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OWシリーズはお客様のニーズに合わせて検討・開発が可能なカスタマイズ製品です。
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