半導体の元となるウェハは、塵や埃(パーティクル)の量が一定以下とする「クリーンルーム」で作られています。
例えば「クラス100」というレベルのクリーンルームでは「0.5μmの微粒子が1立方フィートの中に100個以下」となるように、次のような施策を実施しています。
- 作業者の白衣装着
- クリーンルーム入室時のエアシャワー
- 室内の空気循環による微粒子の排出
- パーティクルを発生させやすい物の持ち込み制限
このような環境でウェハボックスを搬送するロボットには、基本的な運搬機能に加えてパーティクルを一定以上に増加させない「クリーン度」が必要です。
ウェハボックス搬送ロボットは両者の特性を兼ね備えています。